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鈦泵分熱鈦泵與冷鈦泵，一般用濺射離子源，是冷鈦泵，是一種新型表面吸附型泵。它利用化學性質活潑的鈦金屬具有很強的吸氣能力。
其抽氣機理為：
（1）活性氣體分子碰撞在新鮮的鈦膜上，由于化學吸附形成穩定的化合物。隨后又被不斷蒸發與濺射而形成的新鈦膜所覆蓋，新鮮鈦膜又繼續吸附氣體分子，形成穩定的抽氣能力。
（2）非活性氣體分子（如氬、氦等惰性氣體）被電離后，在電場力的作用下，打在鈦膜上，隨之又被蒸發的新鈦膜“掩埋”掉。
（3）活性氣體分子離子化后激發為亞穩態，（或解離為單個離子）增加化學活性，使泵的抽速增加。
